1 简介

真空泵是一种旋转式变容(rong)真空泵须有(you)前级泵配合方(fang)可(ke)使用(yong)(yong)在较宽的压力(li)范(fan)围内有(you)较大的抽速(su)对被抽除气体中(zhong)含有(you)灰尘(chen)和水蒸汽不敏(min)感(gan)广泛用(yong)(yong)于冶(ye)金、化工(gong)、食品(pin)、电子镀(du)膜等(deng)行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力范(fan)围内有较大的(de)抽(chou)速；

(2)转(zhuan)(zhuan)子具(ju)有(you)良好的几何对称性(xing)，故振(zhen)动(dong)小，运转(zhuan)(zhuan)平稳。转(zhuan)(zhuan)子间(jian)及(ji)转(zhuan)(zhuan)子和壳体间(jian)均(jun)有(you)间(jian)隙，不用润滑，摩擦损失(shi)小，可大大降低驱动(dong)功率，从而可实现较(jiao)高转(zhuan)(zhuan)速(su)；

(3)泵(beng)腔内无需用油(you)密封和(he)润滑，可减少油(you)蒸气(qi)对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩(suo)，无排气阀。结构简单、紧凑，对被(bei)抽气体中的灰尘和(he)水(shui)蒸汽(qi)不敏(min)感；

(5)压缩(suo)比(bi)较低，对氢气抽气效果(guo)差；

(6)转(zhuan)子表面(mian)(mian)为(wei)形状(zhuang)较(jiao)为(wei)复杂的曲(qu)线(xian)柱(zhu)面(mian)(mian)，加工和检查(cha)比较(jiao)困难。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真空泵(beng)的泵(beng)体(ti)的布置结(jie)构(gou)决定了(le)泵(beng)的总体(ti)结(jie)构(gou)。

立式(shi)结构的进、排气口水平(ping)设置，装配和(he)连接管路都比(bi)较(jiao)方便。但(dan)泵的重心(xin)较(jiao)高，在(zai)高速运转时(shi)稳定性差，故这种型式(shi)多用(yong)于小(xiao)泵。

卧式泵的(de)进(jin)气(qi)(qi)(qi)口(kou)在(zai)上，排(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)在(zai)下。有时(shi)(shi)为了真空系统管道安装(zhuang)连接方(fang)便(bian)，可(ke)将排(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)从水平(ping)方(fang)向(xiang)接出，即进(jin)、排(pai)气(qi)(qi)(qi)方(fang)向(xiang)是相(xiang)互(hu)垂直的(de)。此(ci)(ci)时(shi)(shi)，排(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)可(ke)以从左或右两个方(fang)向(xiang)开口(kou)，除接排(pai)气(qi)(qi)(qi)管道一(yi)端外(wai)，另一(yi)端堵死(si)或接旁通阀(fa)。这种泵结构(gou)重心低，高速运(yun)转时(shi)(shi)稳定性好。一(yi)般大、中型泵多采用此(ci)(ci)种结构(gou)。

泵的两(liang)个转(zhuan)子轴(zhou)与水平面垂直安装(zhuang)(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)(zhuang)配(pei)间隙容易(yi)控制(zhi)，转(zhuan)子装(zhuang)(zhuang)配(pei)方便，泵占地面积小。但泵重(zhong)心较高且(qie)齿(chi)轮拆装(zhuang)(zhuang)不(bu)便，润(run)滑机(ji)构(gou)也相对复杂(za)。

（2） 泵的(de)传动方(fang)式

真空泵(beng)的(de)(de)(de)两(liang)个转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)是(shi)通过(guo)一对(dui)高精度(du)齿(chi)轮(lun)来实现其(qi)相对(dui)同步运(yun)转(zhuan)的(de)(de)(de)。主(zhu)动(dong)(dong)轴通过(guo)联轴器(qi)与(yu)电机联接。在传动(dong)(dong)结构布(bu)置上(shang)主(zhu)要(yao)有以下(xia)两(liang)种(zhong)：其(qi)一是(shi)电动(dong)(dong)机与(yu)齿(chi)轮(lun)放在转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)同一侧如(ru)图。从动(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)由电动(dong)(dong)机端(duan)齿(chi)轮(lun)直接传过(guo)去带动(dong)(dong)，这样主(zhu)动(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)轴的(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形小(xiao)，则两(liang)个转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙(xi)不会因(yin)主(zhu)动(dong)(dong)轴的(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形大而(er)改变，故使转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙(xi)在运(yun)转(zhuan)过(guo)程中均匀(yun)。这种(zhong)传动(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)最大缺点是(shi)：a.主(zhu)动(dong)(dong)轴上(shang)有三个轴承，增加了泵(beng)的(de)(de)(de)加工(gong)和装配(pei)难(nan)度(du)，齿(chi)轮(lun)的(de)(de)(de)拆(chai)装及调整(zheng)也不便；b.整(zheng)体(ti)结构不匀(yun)称，泵(beng)的(de)(de)(de)重心偏向电动(dong)(dong)机和齿(chi)轮(lun)箱一侧。

    极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)重要参(can)数，是(shi)反(fan)应泵抽(chou)气(qi)(qi)能力的(de)(de)特性值(zhi)，是(shi)与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵相关的(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)数值(zhi)，不同的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵可以有不同的(de)(de)“极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而“理论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)理论研(yan)究时(shi)的(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)概念，是(shi)排(pai)除(chu)各种实(shi)际因素的(de)(de)影响而提炼(lian)出的(de)(de)一(yi)(yi)种最理想(xiang)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态(tai)。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器经充分(fen)抽(chou)气(qi)(qi)后(hou)，稳定(ding)在某一(yi)(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度称为(wei)极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器须经12小时(shi)炼(lian)气(qi)(qi)，再(zai)经12小时(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)(yi)个(ge)小时(shi)每(mei)隔10分(fen)钟(zhong)测(ce)量一(yi)(yi)次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)平均值(zhi)为(wei)极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值(zhi)。